，相應(yīng)采用了真空處理
。目前半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)使用的高速率氣淬淬火爐，可以在高真空條件下通過氮?dú)獗Ｗo(hù)對(duì)工件進(jìn)行加熱
，既保證了工件的脫碳氧化
，又防止了合金元素的蒸發(fā)。同時(shí)采用200-500Kpa范圍內(nèi)可調(diào)節(jié)氣體壓力
，對(duì)工件進(jìn)行淬火冷卻
，在保證工件充分淬透的同時(shí)又減少了變形
。
2、深冷處理與高溫回火
高合金鋼在淬火后，由于其馬氏體轉(zhuǎn)變點(diǎn)（Ms點(diǎn)）均高于室溫，為了提高硬度，保證尺寸穩(wěn)定性，通常要進(jìn)行深冷處理和高溫回火，以保證殘余奧氏體充分轉(zhuǎn)變?yōu)榉€(wěn)定的回火馬氏體。我們將經(jīng)過真空淬火后的工件
，在室溫至100℃之間進(jìn)行校正
，然后放入-140℃的深冷處理箱中進(jìn)行深冷。工件在不出爐的情況下
，可以在-140℃至230℃之間進(jìn)行冷熱循環(huán)
，保證工件不會(huì)因?yàn)檫M(jìn)出爐而產(chǎn)生變形或開裂。同時(shí)由于采用氮?dú)獗Ｗo(hù)也避免了工件在回火中的氧化開裂
。目前對(duì)于D2類材料
，我們通常在深冷設(shè)備中直接完成-140℃深冷至230℃回火的3次循環(huán)。對(duì)于高于230℃回火的鋼種如SAM97
、ELmax
、ASP23等，我們采用了真空回火爐
，在抽真空后
，加入99.999%的高純氮?dú)庾鳛榻橘|(zhì)，通過吹風(fēng)方向的改變來形成對(duì)流
，保證了工件的溫度均勻性
，同時(shí)節(jié)省了回火時(shí)間。
3、其它輔助手段
在提高了淬火回火及深冷處理質(zhì)量的同時(shí)，我們同時(shí)對(duì)工件的其它環(huán)節(jié)給予了充分的重視，過去認(rèn)為的熱處理工件潔凈度與處理無關(guān)的觀點(diǎn)已經(jīng)被拋棄
，增加潔凈預(yù)處理
。即將未入爐零件，通過真空清洗機(jī)進(jìn)行真空去油
、脫脂
、干燥。去除了工件的各類加工油污和碎屑
，保證了入爐工件不會(huì)帶入其它雜質(zhì)
，避免了在高溫加熱時(shí)雜質(zhì)分解，污染爐內(nèi)環(huán)境和工件本身
，從微觀上保證了工件的組織潔凈度和處理質(zhì)量的完美性
，提高了工件的使用壽命
。
常州茂通機(jī)械是機(jī)械零部件加工制造的經(jīng)營(yíng)實(shí)體，主要業(yè)務(wù)包括數(shù)控車床加工 ，
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磨床加工，龍門
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